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TFT-LCD制造洁净室解决方案

May 21, 2025

客户简介

企业 :显示技术
核心产品 :LTPS TFT LCD面板
项目范围 :高级洁净室系统实施


技术实施

能源优化

子系统 技术组件
照明 全光谱LED自适应调光
暖通空调 磁力冷水机+变频风机
设备效率 真空泵热回收
能源管理 生产同步负荷预测

洁净室系统

核心模块 技术规格
空气过滤 H13 HEPA + AMC化学过滤器
气流设计 单向流 + 局部微区
气候控制 ±0.3°C/±3%RH精度
振动控制 空气轴承隔离平台

面向过程的设计

LC填充区

  • 100级层流罩
  • 挥发性有机物捕获

光刻区

  • 分子污染控制
  • 稳态黄光条件

模块组装

  • 抗静电电离系统
  • 局部热管理

光纤工业-洁净室/电源环境解决方案
药品生产 - 温湿度解决方案