May 21, 2025
客户简介
企业 :显示技术
核心产品 :LTPS TFT LCD面板
项目范围 :高级洁净室系统实施
| 子系统 | 技术组件 |
|---|---|
| 照明 | 全光谱LED自适应调光 |
| 暖通空调 | 磁力冷水机+变频风机 |
| 设备效率 | 真空泵热回收 |
| 能源管理 | 生产同步负荷预测 |
| 核心模块 | 技术规格 |
|---|---|
| 空气过滤 | H13 HEPA + AMC化学过滤器 |
| 气流设计 | 单向流 + 局部微区 |
| 气候控制 | ±0.3°C/±3%RH精度 |
| 振动控制 | 空气轴承隔离平台 |
LC填充区
光刻区
模块组装

2016年10月26日
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